电子工业厂房洁净空调系统施工监理的控制要点
发布日期：2016-04-11 来源：《上海设备管理》
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随着我国经济的高速发展，高端制造业的集成电路生产企业发展迅猛，该型企业对生产车间的洁净度要求非常严格，洁净度水平会直接对产品的生产质量产生影响，所以洁净室是电子工业厂房的核心部位。为了达到洁净度要求，洁净室内的温、湿度和气流组织均需严格控制，采用带多级过滤器和加温器的空调系统向洁净室内送风，以消除室内的热（冷）湿负荷和尘埃污染，使室内空气洁净度满足生产的需要。所以洁净空调系统的安装施工质量对电子工业厂房至关重要。
本文对洁净空调系统施工监理的控制重点结合实际工程案例进行分析，并探讨施工过程中出现问题的原因及解决方案。
一、电子工业洁净空调系统特点
1、电子工业洁净空调系统的新风负荷较大：在洁净厂房投入生产后，常常会产生热湿负荷、有害气体和尘埃。为了确保厂房的“洁净性”以及安全性，需要及时消除热湿负荷、排出有害气体和尘埃，为了能够确保排风效率的理想与可靠，就需要加大空调系统的新风量。与空调系统风机温升负荷以及工艺设备散热负荷相比，新风冷负荷所占比例最大。
2、电子工业洁净厂房空调系统的风机全压比较高：为了满足洁净厂房的要求，空调系统需要配置多级过滤器，导致系统总阻力值提高。为了能够克服过滤系统的阻力，就需要对空调系统的风机风压进行合理提升。
二、工程概况
诺得卡（上海）微电子有限公司三楼扩建项目，位于上海市漕河泾开发区8号楼，总建筑面积1691 平方米。生产车间、工程备件室、QA 室和更衣室为净化空调区域，洁净度要求为N（7） 级（≥0.5μm）。净化空调系统采用由室外直接引进新风，随后再与回风混合进入净化空调箱进行进一步处理，包括冷却除湿、加热、加湿以及过滤等过程。处理后的空气最终经过高效过滤器进入洁净室。高效过滤器的过滤级别为H13，MPPS 效率不小于99.95%，对0.3 μm DOP 粒子的效率不小于99.99%。洁净室气流组织为顶送侧回。
三、洁净空调系统监理控制的重点
（一）材料、设备和配件
洁净空调系统的材料、设备和配件进场时需进行验收，验收合格后才能进行安装施工。材料、设备和配件的进场验收包括：检查相应的资料是否完整并在有效期内、质量和外观是否符合设计及规范要求等。
1、资料检查
进场材料、设备和配件需检查的资料主要包括：厂家的营业执照、资质、出厂检验合格证、质量证明书或检测报告，按规定需要现场见证取样进行复试的材料和设备还需复试报告合格后才能验收。
2、材料、设备质量控制
（1）空调风管材料
本工程风管材料为镀锌钢板，镀锌钢板的规格、性能与厚度应符合设计及规范要求。镀锌钢板的镀锌层应在100号以上（双面三点试验平均值不小于100g/平方米），表面无裂纹、结疤及划伤，无明显氧化层、针孔、麻点、起皮和镀层脱落等缺陷。
（2）空调水管材料
本工程空调水系统管道设计为镀锌钢管，材料进场时，随机抽取样本，检查管道表面是否平滑、无结瘤、无露铁现象，管道的规格、厚度是否符合设计要求。
（3）风管和水管保温材料
空调风管和水管采用橡塑保温，检查橡塑材料的厚度与防火等级是否符合设计和规范要求，并且材料在现场见证取样送检复试。
（4）设备验收
本工程主要设备为风冷螺杆制冷机组（内置水泵）、净化空调箱。设备进场进行开箱检验，必须有装箱清单、设备说明书、产品质量合格证书和性能检测报告等随机文件，同时检查设备的外观是否有损伤，规格、型号、铭牌参数是否符合设计要求。
（二）风系统质量控制重点
本工程洁净空调风系统有两条主送风管和两条主回风管，风管的加工制作及安装质量直接影响整个净化系统的运行。由于洁净空调系统风量大、风机全压高，对风管的洁净度和气密性要求高，所以风管的制作、安装工艺和环境比民用空调要求更严格。因此风管的制作、安装质量是本工程监理的控制重点。
1、风管制作
（1）风管制作有专用场地，其房间应清洁、封闭。工作人员穿干净工作服和软性工作鞋。
（2）风管采用镀锌钢板制作，不允许有横向接缝，所有咬口缝翻边处、铆钉处都必须涂密封胶，风管的加固筋不允许设在风管内，风管制作完成后用中性清洗液冲洗，干燥后用塑料膜封口待安装，只允许在安装时拆开风管端口封膜。
（3）风管采用法兰连接，镀锌钢板翻边应平整，并紧贴法兰，翻边宽度不应小于7 mm。
（4）镀锌钢板风管不应损坏镀锌层，若有损坏，损坏处（如咬口、折边、焊接处等）应刷涂优质防锈涂料两遍。
2、风管安装
（1）由于风管的尺寸较大，根据“先大后小”原则，风管安装应先于其他管线安装。
（2）风管安装前应测量风管交汇处管底的标高是否影响吊顶高度，必要时调整风管尺寸。
（3）法兰密封垫应选用弹性好、不透气、不产尘、多孔且闭孔的材料制作。不得采用乳胶海绵、泡沫塑料、厚纸板等含开孔孔隙和易产尘、易老化的材料制作。密封垫厚度宜为5 mm～8 mm。不得在密封垫表面刷涂料。
（4）密封垫应擦拭干净后涂胶粘牢在法兰上，不得拉伸，不得有隆起或虚脱现象。法兰均匀压紧后，密封垫内侧应与风管内壁齐平。
（5）法兰上各螺栓的拧紧力矩应大小一致，并应对称逐渐拧紧，安装后不应有拧紧不匀的现象。
（6）风管和部件应在安装时拆卸封口，且立即连接。当施工停止或完毕时，应将端口封好，若安装时封膜有破损，安装前要将风管内壁再擦拭一遍。
（7）风管系统不得作为其他负荷的吊挂架，支风管的重量不得由干管承受，送风末端应独立设置可调节支架。
3、部件安装
（1）风阀、消声器等部件安装时应清除内表面的油污和尘土。
（2）风管内安装的定、变风量阀，入口前后直管长度不应小于该风量阀产品要求的安装长度，安装方向与指示相同。
（3）消声器、消声弯头在安装时应单独设支、吊架。
（4）消声直段应安装在气流平稳的直管段上。
（5）洁净空调系统绝热工程施工应在系统严密性检验合格后进行。
4、送风末端装置的安装
（1）本工程送风末端为高效过滤器，应在系统新风过滤器安装完毕并可运行、对洁净室空调设备安装空间和风管进行全面彻底清洁、对风管空吹12h之后安装。
（2）系统空吹时，关闭新风采用循环风，并在回风口设置相当于中效过滤器的预过滤装置，全风量空吹完毕后撤走。
（3）空吹完毕后再次清扫、擦净洁净室，再立即安装高效过滤器。
（4）高效过滤器安装过程中，室内不得进行带尘、产尘作业，安装完后应用塑料薄膜将出风面封住，暂时不上扩散板等装饰件。
5、设备安装质量控制重点
（1）安装空调设备时应检查规格、型号、方向和功能段是否符合设计要求，对空调箱内部进行清洁、除去灰尘、杂物和油污。
（2）监理在审图时发现本工程安装空调设备四周的设备层地面，未设计防水处理，地面未设计挡水线，且缺少冷凝水排水管，向设计方提出后进行了修改。
（3）本工程的空调设备表冷器在负压段，未设计设备水泥底座，且高度不宜低于200 mm。监理提出后，设计方进行了修改。
（4）空调设备内加湿器的安装应设独立支吊架，不得在空调机组壁开设固定支架用的安装孔。加湿器喷管与机组壁板间应做好绝热、密封处理。
（三）水系统安装质量控制重点
本工程的空调水系统不在洁净区内，但水系统的安装质量直接影响空调系统的使用功能，从而影响生产线的产品质量。因此严格控制空调水系统的安装质量，也是本次监理工作的重点。
本工程采用风冷螺杆热泵机组作为冷（热）源，内置水泵，水系统为闭式系统，水管采用镀锌钢管。
1、管道安装
（1）管道的位置、标高应符合设计要求，支、吊架的设置应合理，并符合规范要求。
（2）镀锌钢管转弯时应采用弯头连接，不得采用热煨弯。
（3）管道与水泵、螺杆机组的接管必须采用柔性短管连接，且与柔性短管中心对齐、松紧适度，不得强行对口连接，柔性短管处应设独立支架。
（4）本工程中管径不大于DN80的镀锌钢管采用螺纹连接，螺纹应规整，断丝或缺丝不大于螺纹全数的10%；连接后露丝部位应做防腐处理。
（5）本工程冷凝水排水管采用PVC管，检查是否符合设计坡度8%的要求，施工完成后进行灌水试验，要求排水通畅、无渗漏。
（6）供回水管道与支、吊架之间，用防腐木块做绝热衬垫，其厚度不应小于保温层厚度。
（7）管道安装的位置、标高应符合设计要求。
（8）管道安装完毕后，应按规范要求对管道系统进行水压试验。本工程空调水系统工作压力小于1.0 MPa，试验压力为1.5倍工作压力。
2、管道阀门安装
（1）阀门的安装位置、标高和进出口方向必须符合设计要求。
（2）供回水干管上起到切断作用的闸阀，必须按规范进行强度和严密性试验，合格后才能使用。
（3）阀门安装的位置应便于操作、启闭灵活。
（4）水过滤器的安装方向应正确，且便于拆装和清洗滤网。
四、结语
洁净厂房是科学技术进步、社会发展的必然需求。而实现洁净厂房的手段就是使用洁净空调系统达到空气洁净度要求，以满足生产工艺的需要。到目前为止，对洁净空调工程监理的理论研究较少，还没有配套的指导性文件。在监理实践中发现，作为监理依据的设计院设计图纸，经常未考虑洁净空调系统的特殊性，设计中存在一些遗漏（如本工程中未设计机房防水处理），设计图在现场无法全部实现。在本工程中，笔者作为监理，以自己的工程经验，施工前做好图纸审查，施工过程中从材料和设备进场验收、风系统安装、水系统安装三个方面严控施工质量，使洁净空调系统达到了预期的效果。在以后的监理实践中，将进一步探索洁净空调的监理方法。
作者：吕坤 单位：上海同济工程项目管理咨询有限公司
